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    搖身一變!揭秘CPU制造全過程 (3)

    http://www.wwwfh2222.com   2009年07月10日08:15   PCPOP

      CPU制造:第五階段圖文直播:


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      光刻膠再次澆上光刻膠(藍色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻膠還是用來保護不會離子注入的那部分材料。

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      離子注入(Ion Implantation)在真空系統中,用經過加速的、要摻雜的原子的離子照射(注入)固體材料,從而在被注入的區域形成特殊的注入層,并改變這些區域的硅的導電性。經過電場加速后,注入的離子流的速度可以超過30萬千米每小時。

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      清除光刻膠離子注入完成后,光刻膠也被清除,而注入區域(綠色部分)也已摻雜,注入了不同的原子。注意這時候的綠色和之前已經有所不同。

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    第五階段合影步驟圖

      CPU制造:第六階段圖文直播:

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      晶體管就緒至此,晶體管已經基本完成。在絕緣材(品紅色)上蝕刻出個孔洞,并填充銅,以便和其它晶體管互連。

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      電鍍在晶圓上電鍍一層硫酸銅,將銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會從正極(陽極)走向負極(陰極)。

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      銅層電鍍完成后,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個薄薄的銅層。

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    第六階段合影步驟圖


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